Пучок электронов, пройдя через диафрагму и запирающий вентиль 9, попадает под действие системы восьмиполосного стигматора 8, двухкаскадных сканирующих катушек 7, связанных с системой управления перемещения (развертки 16) луча для создания растра с генератором 17. Развертка 16 и генератор l7 включены в схему кинескопа 6. Электронный пучок перемещается по поверхности объекта по строкам. Результирующее изображение (растр) состоит из конечного числа строк. Скорость растро-вапия на электронном микроскопе BS-300 может изменяться от 1 до 500 м/с на строку, а число строк может составлять 100, 200, 400, 800, 1600.
Катушки объектива 5 фокусируют электронный луч 14, стабилизированный стабилизатором 4 через апертуру диафрагмы 3 на объект /. При попадании луча на объект в результате взаимодействия электронов с веществом объекта возникают вторичные электроны исследуемого вещества, но часть электронов луча 14 отражается от объекта, часть поглощается, часть проходит через объект.
Отраженные электроны с глубины объекта (до 100 им), энергия которых близка к энергии первичных электронов, также дают информацию о строении объекта, создавая контраст изображения.
Плотность вторичных, отраженных, поглощенных, пропущенных электронов зависит от строения вещества объекта, от его рельефа, что и фиксируется детектором 2. Детектором является сцинтиллятор с большим сроком службы для вторичных и отраженных электронов. Отраженные электроны попадают в фотоумножитель, где сигнал усиливается усилителем 18, преобразующим электронный сигнал в электрический. Информация усиливается и передается на электронно-лучевые трубки, покрытые люминофором с длительным послесвечением.
Для предотвращения образования и накопления зарядов па поверхности изучаемого объекта его покрывают топкой пленкой металла (золото с палладием, серебро и др.).
Достоинство растрового электронного микроскопа заключается в возможности изменять угол наклона объекта по отношению к электронному лучу, перемещать его в плоскости в двух взаимно перпендикулярных направлениях и изменять его положение по высоте. Вместе с тем следует иметь в виду, что разрешающая способность растровых микроскопов по сравнению с разрешающей способностью просвечивающих электронных микроскопов па порядок меньше.
